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德国爱尔福特硅铸造厂 部署高温离子注入机

来源:国防科技信息网 秩名 2016-10-15 浏览
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德国爱尔福特的X-FAB硅铸造厂,是一个模拟/混合信号集成电路、传感器和微电子机械系统(MEMS)铸造厂,宣称在与美国能源部(DOE)和由北卡罗来纳州立大学牵头的下一代电力电子国家制造业创新研究所的合作下,它已经在其德克萨斯卢伯克工厂部署了高温离子注入机,据说这是世界上第一个支持6英寸碳化硅(SiC)生产的半导体工厂。

利用其现有的高容量硅生产线、X-FAB说它可以提供所需规模的经济以鼓励基于碳化硅(SiC)功率器件的广泛应用。它完全有能力提供市场的可扩展性和成本效益制造能力的响应。

X-FAB的SiC铸造还借助了公司的信誉以服务最具挑战性的应用。预计汽车和工业部门将推动碳化硅的吸收,X-FAB说提供高分化程度的关键技术,这就是其几十年洞察力和经验所在。

“通过这种高温等离子注入机的安装和引用,我们现在准备支持我们的客户,因为在2017年碳化硅将从成型发展到批量生产。这意味着他们将处在碳化硅(SiC) 6英寸晶圆转型的前沿,” X-FAB德克萨斯战略业务发展总监安迪威尔逊说,“美国能源部和美国力量持续不断的支持,是我们进行下一个阶段的最大助力,他们帮助X-Fab在这个令人兴奋的新技术的相关领域和确保其潜力的充分实现产生重大的影响,”他补充道。(工业和信息化部电子科学技术情报研究所 宋文文)

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